随着物联网的飞速发展，MEMS传感器的集成化、微型化、智能化发展趋势明显。单芯片集成技术可以实现低功耗、高信噪比、高器件匹配度、高补偿精度、高可靠性及智能化，最大程度发挥MEMS传感器的性能。